Yêu cầu báo giáMáy sấy tia UV CHINA UV-2
Giá:
Liên hệ
Hệ thống PECVD TOB TOB-DSP-1200℃-PECVD-III (1200℃,4KW,10-1Pa)
- Hãng sản xuất TOB
- Model TOB-DSP-1200℃-PECVD-III
- Bảo hành 12 Tháng
- Xuất xứ Trung Quốc
Liên hệ
Công suất: 4KW
Kích thước ống lò (mm): Dia 100(OD) X1800mm
Kích thước: 1800X460X660
Nguồn: 220V
Số pha: Một pha
Chế độ điều khiển
Điều khiển nhiệt độ Yudian: chỉ sử dụng nguyên lý điều khiển nhiệt độ PID cho 30 phần.
Điều khiển nhiệt độ FP93 (Công nghệ Nhật Bản)Chế độ điều khiểnnhiệt độ
Chế độ điều chỉnh nhiệt độ: Điều chỉnh thông minh PID
Bảo vệ chập mạch và màn hình: Có
Bảo vệ quá nhiệt: Có
Bảo vệ quá dòng: Có
Độ chính xác điều chỉnh: +/- 1 ℃
Bộ khởi động: Bộ khởi động chuyển pha
SCR: 106 / 16E Germany Simon Kang
Miền nhiệt độ tối đa 1.2: 1200 ℃
Miền nhiệt độ định mức 1.2: 1150 ℃
Độ gia nhiệt: ≤30 ℃ / phút (có sẵn theo yêu cầu thay đổi)
Độ gia nhiệt đề xuất: ≤15 ℃ / phút
Kiểu cặp nhiệt điện: Kiểu K
Chiều dài miền gia nhiệt 1.2: 205mm
Nhiệt độ bề mặt xung quanh: ≤45℃
Công suất Plasma RF
Dải công suất đầu ra: 0-500W
Công suất phản xạ tối đa: 10W
Tần số tín hiệu: 13.56MHZ ± 0.005%
Độ ồn: <30 dB
Làm mát bằng khí: Phương pháp làm mát
Công suất đầu vào: 208-240V 50 / 60HZ
Thông số hệ thống cung cấp GX
Dải đo tiêu chuẩn
Bộ điều chỉnh lưu lượng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM
(tùy chọn thang đo)
Độ chính xác: ± 1.5%
Giảm áp suất: <0.01MPa
Độ lặp: ± 0.2% F.S
Áp suất vận hành tối đa: 3MP
Hệ thống thải VS-0.1
Nguồn: 220V / 380V 380W
Mức bơm 2L / S
Đồng hồ đo điện trở chân không: ZDR-I
Dải đo chân không: 0.1-10 5 Pa
Bơm chân không: VRD-8
Ống gấp khúc: KF25X1000mm
Hệ thống chân không: 10 -1Pa
Kích thước ống lò (mm): Dia 100(OD) X1800mm
Kích thước: 1800X460X660
Nguồn: 220V
Số pha: Một pha
Chế độ điều khiển
Điều khiển nhiệt độ Yudian: chỉ sử dụng nguyên lý điều khiển nhiệt độ PID cho 30 phần.
Điều khiển nhiệt độ FP93 (Công nghệ Nhật Bản)Chế độ điều khiểnnhiệt độ
Chế độ điều chỉnh nhiệt độ: Điều chỉnh thông minh PID
Bảo vệ chập mạch và màn hình: Có
Bảo vệ quá nhiệt: Có
Bảo vệ quá dòng: Có
Độ chính xác điều chỉnh: +/- 1 ℃
Bộ khởi động: Bộ khởi động chuyển pha
SCR: 106 / 16E Germany Simon Kang
Miền nhiệt độ tối đa 1.2: 1200 ℃
Miền nhiệt độ định mức 1.2: 1150 ℃
Độ gia nhiệt: ≤30 ℃ / phút (có sẵn theo yêu cầu thay đổi)
Độ gia nhiệt đề xuất: ≤15 ℃ / phút
Kiểu cặp nhiệt điện: Kiểu K
Chiều dài miền gia nhiệt 1.2: 205mm
Nhiệt độ bề mặt xung quanh: ≤45℃
Công suất Plasma RF
Dải công suất đầu ra: 0-500W
Công suất phản xạ tối đa: 10W
Tần số tín hiệu: 13.56MHZ ± 0.005%
Độ ồn: <30 dB
Làm mát bằng khí: Phương pháp làm mát
Công suất đầu vào: 208-240V 50 / 60HZ
Thông số hệ thống cung cấp GX
Dải đo tiêu chuẩn
Bộ điều chỉnh lưu lượng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM
(tùy chọn thang đo)
Độ chính xác: ± 1.5%
Giảm áp suất: <0.01MPa
Độ lặp: ± 0.2% F.S
Áp suất vận hành tối đa: 3MP
Hệ thống thải VS-0.1
Nguồn: 220V / 380V 380W
Mức bơm 2L / S
Đồng hồ đo điện trở chân không: ZDR-I
Dải đo chân không: 0.1-10 5 Pa
Bơm chân không: VRD-8
Ống gấp khúc: KF25X1000mm
Hệ thống chân không: 10 -1Pa
Sản phẩm liên quan
